微納加工-激光掩模版的作用:
光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實(shí)現(xiàn)對(duì)光線的遮擋或透過(guò)功能,是微電子光刻工藝中的一個(gè)工具或者板材。我們利用光罩可以實(shí)現(xiàn)微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術(shù)主要有兩種:其一為激光直寫技術(shù);其二為電子束直寫部分,兩種技術(shù)區(qū)別在于光源不同,實(shí)現(xiàn)的精度有所區(qū)別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設(shè)計(jì)圖形,光線透過(guò)它,把設(shè)計(jì)圖形透射在光刻膠上,掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的“底片”。我們可以通過(guò)把圖形做在掩模版上通過(guò)下一步曝光工藝(下期講解)轉(zhuǎn)移到我們的基底上,基底上有對(duì)應(yīng)的相關(guān)圖形了,但是通過(guò)曝光基底上還沒(méi)有刻上圖形,只是光刻膠有了相關(guān)圖形。光刻膠的是一種對(duì)光敏感的材料,通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化。有可能會(huì)變?nèi)菀兹芙庖部赡茏兊貌蝗菀?,這時(shí)候再通過(guò)顯影液,不穩(wěn)定的部分將會(huì)被處理掉,剩下的就是我們想要的圖形。 半導(dǎo)體激光器失效模式;OLED激光原理
激光鉆孔加工常見(jiàn)的4種方法1.開(kāi)銅窗法:先將RCC(涂上樹(shù)脂的銅箔層)復(fù)壓于內(nèi)層板上,用光化方法制作窗口,然后用蝕刻露出樹(shù)脂,再用激光燒除窗口內(nèi)基材材料形成微盲孔。2.開(kāi)大窗法:將銅窗直徑增大到0.05mm左右,比底墊還大(通常根據(jù)孔徑大小確定),當(dāng)孔徑為0.15mm時(shí),底墊直徑應(yīng)在0.25mm左右,其大窗口直徑為0.30mm。然后進(jìn)行激光照射,即可燒出微盲孔,這樣位置準(zhǔn)確,可用于制作精確的銅窗底墊。它的主要特點(diǎn)是選擇自由度大,進(jìn)行激光照射時(shí)可選擇另按內(nèi)層底墊的程序打孔。這種方法有效地避免了由于銅窗直徑與孔徑相同所引起的偏置,從而使激光點(diǎn)不能對(duì)準(zhǔn)正窗口,從而導(dǎo)致大量的大尺寸拼板表面有很多半孔或殘孔。南昌激光調(diào)阻激光微加工工藝有哪些;
常見(jiàn)、有代表性的激光應(yīng)用之激光光源:如,用半導(dǎo)體激光合成白光光源。
常見(jiàn)、有代表性的激光應(yīng)用之激光通信:激光大氣通信的發(fā)送設(shè)備主要由激光器(光源)、光調(diào)制器、光學(xué)發(fā)射天線(透鏡)等組成;接收設(shè)備主要由光學(xué)接收天線、光檢測(cè)器等組成。
常見(jiàn)、有代表性的激光應(yīng)用之激光筆:是把可見(jiàn)激光設(shè)計(jì)成便攜、易握的筆型發(fā)射器。常見(jiàn)有紅光(650-660nm, 635nm)、綠光(515-520nm, 532nm)、藍(lán)光(445-450nm)和藍(lán)紫光(405nm)等,功率常以毫瓦為單位。會(huì)報(bào)、教學(xué)、導(dǎo)賞人員會(huì)使用它投映出光點(diǎn)或光線指向物體,不可對(duì)人,尤其需注意人眼防護(hù)。
半導(dǎo)體激光器失效機(jī)理與案例分析:
半導(dǎo)體激光器失效模式主要表現(xiàn)為工作期間無(wú)輸出光強(qiáng),或在恒定驅(qū)動(dòng)電流下輸出光功率退化失效,當(dāng)輸出功率退化至特定閾值,就會(huì)導(dǎo)致激光器失效??煽啃匝芯糠治鲋行氖菄?guó)內(nèi)專業(yè)從事電子元器件和各種電子產(chǎn)品失效分析技術(shù)研究和技術(shù)服務(wù)的機(jī)構(gòu)。在對(duì)半導(dǎo)體激光器開(kāi)展的失效分析工作中,經(jīng)總結(jié),半導(dǎo)體激光器的主要失效機(jī)理包括電極退化、歐姆接觸、腔面退化、環(huán)境污染等因素。
失效機(jī)理介紹及相關(guān)案例如下文所示。
1)電極退化電極退化通常發(fā)生在金屬與半導(dǎo)體材料的交界面,由于焊料材料擴(kuò)散進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)部形成缺陷結(jié)構(gòu),大電流作用下導(dǎo)致缺陷位置熱量積累,**終燒毀附近的金屬化層[2]。 激光應(yīng)用之激光冷卻;
激光機(jī)常見(jiàn)故障以及解決方法:三、復(fù)位不正常1、檢查傳感器是否沾灰、接觸不良或受損(擦凈傳感器上的灰塵或更換);2、檢查柔性導(dǎo)帶數(shù)據(jù)線是否接觸不良或損壞(修剪數(shù)據(jù)線重新拔插或更換數(shù)據(jù)線);3、檢查地線接觸是否可靠或高壓線是否受損(重新接地或更換高壓線);4、電機(jī)線接觸不良。四、漏刻1、初始化不正確,已發(fā)送數(shù)據(jù)(更正);2、操作順序顛倒(重新輸出);3、靜電干擾(檢查地線是否脫落);五、清掃勾邊錯(cuò)位、不閉合1、編輯好的文件是否正確(重新編輯);2、所選目標(biāo)是否超出版面(重新選?。?;3、檢查軟件參數(shù)設(shè)置是否正確(重新設(shè)置);4、電腦系統(tǒng)有誤(重新安裝操系統(tǒng)及軟件);5、檢查左右皮帶松緊是否一致或后端皮帶是否太松(皮帶加緊);6、檢查皮帶或同步輪是否打滑、跳齒(加緊同步輪或皮帶);7、檢查橫梁是否平行(重新調(diào)節(jié)左右皮帶);光刻掩模版的加工技術(shù);OLED激光原理
超快激光玻璃微加工。OLED激光原理
激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計(jì)算機(jī)齊名的四項(xiàng)重大發(fā)明之一.四十多年來(lái),隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長(zhǎng),對(duì)于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點(diǎn)材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)展快速的領(lǐng)域之一.
激光加工是激光產(chǎn)業(yè)的重要應(yīng)用,與常規(guī)的機(jī)械加工相比,激光加工更精密、更準(zhǔn)確、更迅速.該技術(shù)利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)包括金屬與非金屬的各種材料進(jìn)行加工,涉及到了焊接、切割、打標(biāo)、打孔,熱處理、成型等多種加工工藝。激光的特性使之成為微處理的理想工具,廣泛應(yīng)用于微電子、微機(jī)械和微光學(xué)加工三大領(lǐng)域。
激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)材料(包括金屬與非金屬)進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術(shù). OLED激光原理
上海波銘科學(xué)儀器有限公司位于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室,是一家專業(yè)的上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.公司。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),以誠(chéng)信、敬業(yè)、進(jìn)取為宗旨,以建愛(ài)特蒙特產(chǎn)品為目標(biāo),努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。公司堅(jiān)持以客戶為中心、上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.市場(chǎng)為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。上海波銘科學(xué)儀器有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器,堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。