探針臺(tái)主要被應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路以及封裝的測(cè)試，主要是保證產(chǎn)品的質(zhì)量，且縮短制造成本。按照不同功能，探針臺(tái)可被分為多種類型，如LCD探針臺(tái)、高/低溫探針臺(tái)、RF探針臺(tái)。受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，探針臺(tái)應(yīng)用需求持續(xù)攀升，行業(yè)發(fā)展前景較好。半導(dǎo)體檢測(cè)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中關(guān)鍵一環(huán)，在半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)結(jié)構(gòu)中，探針臺(tái)占比約為16%。在全球中，受益于智能手機(jī)、人工智能等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體需求攀升，半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模也隨之增長(zhǎng)，在2021年達(dá)到76億美元。探針臺(tái)作為重要設(shè)備，受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，市場(chǎng)需求持續(xù)攀升，市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)。全自動(dòng)探針臺(tái)相比普通探針臺(tái)添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。SiC探針臺(tái)

探針臺(tái)的探針的清洗，1、毛刷清潔法：適用范圍為5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。清洗方法是拿一張A4白紙，撕成細(xì)長(zhǎng)條的形狀，撕成細(xì)長(zhǎng)的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡**視顯微鏡即可，放大倍數(shù)太高無法操作)，利用撕下的紙片作為毛刷，輕輕地將探針沾污物刷下。2、壓針清潔法：適用范圍是所有探針，灰塵比較靠近探針的情況。清洗方法是拿一張A4白紙，裁成樣品臺(tái)大小(或適當(dāng)?shù)某叽?，固定于樣品臺(tái)上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動(dòng)探針。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。3、超聲清潔法：適用范圍是所有探針，清洗方法是取適量的蒸餾水置于燒杯內(nèi)(燒杯大小以適合用戶操作為宜)，并放到超聲波清洗機(jī)內(nèi)。打開超聲波清洗機(jī)，然后手捏住探針(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水內(nèi)，讓震動(dòng)把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到灰塵掉落為止。將探針放到適當(dāng)?shù)奈恢昧栏珊蠹纯墒褂谩Ｕ?qǐng)注意，若清潔微波探針，須將探針放置整晚晾干。FINFET探針臺(tái)升級(jí)定制探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，符合人體工程學(xué)，以及多項(xiàng)升級(jí)功能。

    RF/mmW超高頻測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)可配合市場(chǎng)主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測(cè)試l大行程高精度探針座，X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動(dòng)，擴(kuò)大了顯微鏡視場(chǎng)l兼容直流與高頻信號(hào)l可以定制，可升級(jí)性強(qiáng)lFA(失效分析)**激光探針臺(tái)系統(tǒng)失效分析實(shí)驗(yàn)室**（芯片去層/線路或Pad切割與熔接電性能測(cè)試驗(yàn)證）l激光鐳射波長(zhǎng)1064/532/355nm可選擇性去除特定材料、而不損傷下層或基底l材料/器件（尤其是射頻特征芯片）的IV/PIV/CV電性測(cè)試和失效分析。l**小切割線寬：355nm1um;，行程25mm，升降精度1uml卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品l可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰，便于更換物鏡，帶自動(dòng)鎖定功能。l高功率白色照明光源（亮度可以無級(jí)調(diào)節(jié)）。

探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯，這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺(tái)如何來工作呢？

探針臺(tái)的各種應(yīng)用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級(jí)可靠性，故障分析，設(shè)計(jì)驗(yàn)證，和大功率。滿足先進(jìn)半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)的要求，主要用于解決故障分析，設(shè)計(jì)驗(yàn)證，IC工程，晶圓級(jí)可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測(cè)試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測(cè)量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測(cè)量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，從而保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護(hù)，以提供簡(jiǎn)便的初始測(cè)量設(shè)置。晶圓級(jí)測(cè)試自動(dòng)探針臺(tái)。武漢磁場(chǎng)探針臺(tái)

芯片的電參數(shù)測(cè)試用手動(dòng)探針臺(tái)。SiC探針臺(tái)

無論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測(cè)試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測(cè)試和CP測(cè)試，探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被美、日、韓等國(guó)所占據(jù)。近年來在國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。SiC探針臺(tái)

上海波銘科學(xué)儀器有限公司是我國(guó)拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器專業(yè)化較早的有限責(zé)任公司（自然）之一，公司位于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室，成立于2013-06-03，迄今已經(jīng)成長(zhǎng)為儀器儀表行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。波銘科儀致力于構(gòu)建儀器儀表自主創(chuàng)新的競(jìng)爭(zhēng)力，多年來，已經(jīng)為我國(guó)儀器儀表行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。