掃描透射電子顯微鏡 (STEM) 基本原理

場發(fā)射電子槍激發(fā)的電子束經(jīng)過復雜的聚光系統(tǒng)后被匯聚成為原子尺度的電子束斑，作為高度聚焦的電子探針，在掃描線圈的控制下對樣品進行逐點光柵掃描。STEM成像不同于平行電子束的TEM，其利用聚集的電子束在樣品上掃描。與SEM不同之處在于探測器置于試樣下方，探測器接收透射電子束流或彈性散射電子束流，經(jīng)放大后在熒光屏上顯示出明場像和暗場像。各種成像模式收集散射信號的接收角度不同，因此可獲取同一位置的不同圖像，從而反應材料的不同信息，有環(huán)形明場像（ABF）、環(huán)形暗場像（ADF）、高角環(huán)形暗場像（HAADF）。 顯微鏡使用注意事項；三豐顯微鏡供應商家

聚焦離子束（FIB）顯微鏡

隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的重要部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束（FIB）技術(shù)利用聚焦離子束對材料進行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故障分析等。

技術(shù)特征

1、比較高束流可以達到100nA,且加工性能優(yōu)異?？梢詫崿F(xiàn)快速切割和納米加工。

2、最高分辨率小于3nm，可以實現(xiàn)精細加工，并顯示優(yōu)異的FIB成像質(zhì)量。

3、電壓范圍在500V-30KV可調(diào)，可以實現(xiàn)精細拋光，降低樣品表面非晶層厚度。

4、離子源比較穩(wěn)定，使用壽命長。行業(yè)內(nèi)**長離子源壽命1500小時（3000uAh），72小時束流變化在5%以內(nèi)。5、與SEM鏡筒完美配合，可以實現(xiàn)FIB加工過程中可以利用SEM進行實時觀察。 安徽光電流 顯微鏡顯微鏡的專業(yè)術(shù)語詞義；

使用顯微鏡時，您可能會遇到顯微鏡的專業(yè)術(shù)語，這些用語都代表什么意思呢？

綜合放大倍率：綜合放大倍率=目鏡倍率 x 物鏡倍率。

視場數(shù)（F.N）：視場數(shù)指目鏡能否在廣視野下進行觀察的指標。樣品表面的觀察范圍取決于目鏡的視場光闌直徑，該直徑的值（以mm為單位）被稱為視場數(shù)。F.N=Field Number。

實視場（FOV）：指通過目鏡觀察時實際觀察和觀察工件的實際范圍。FOV：Field Of View

PC顯示倍率（TV綜合倍率）：PC顯示器倍率（TV綜合倍率）是指相機攝像元件對角線長度與PC顯示器屏幕對角線長度之比。當顯微鏡通過CCD 設備連接至電腦上進行成像觀察時，就需要評價顯示器倍率了。

工作距離（WD）：工作距離是指聚焦時物鏡鏡頭頭部頂點到檢查物體表面的距離，在該距離下可實現(xiàn)清晰的對焦。工作距離越長,聚焦時操作性越好,不用擔心鏡頭會碰上檢查物體。WD：WorkingDistance

齊焦距離（PFD）：齊焦距離是指聚焦時從物鏡安裝位置到合焦時檢查物體表面的距離。PFD：ParFieldDistance

焦點距離（FD）：焦點距離指鏡頭（主點）到焦點的距離。FD：Focus Distance

焦點深度（DOF）：焦點深度是指聚焦之后,聚焦位置前后移動,也能清晰的觀察的前后移動范圍。DOF：Depth Of Focus

顯微鏡放置和使用環(huán)境的維護：

?防潮：當空氣太潮濕時，光學鏡片容易生霉，起霧；機械零件受潮后，容易生銹。平時顯微鏡室應保證65%以下的濕度，潮濕地區(qū)應在室內(nèi)配置除濕機。

?控溫：為避免熱脹冷縮引起鏡片開膠與脫落，顯微鏡室室溫建議維持在20-24℃。

?防塵：光學元件表面落入灰塵，不僅影響光線通過，而且經(jīng)光學系統(tǒng)放大后，會生成很大的污斑，影響觀察?；覊m、砂粒落入機械部分，還會增加磨損，危害同樣很大。故顯微鏡室應該保持干凈，顯微鏡不用時應用防塵罩罩住以防止落灰。

?防腐蝕：顯微鏡不能和具有腐蝕性和強揮發(fā)性的化學試劑放在一起，如硫酸、鹽酸、強堿等。

?防震：顯微鏡的光學系統(tǒng)和機械系統(tǒng)都是經(jīng)過精密校正的，在使用及保管期間要防震，同時也要注意避免陽光直射，避免空調(diào)直吹顯微鏡，以保證它固有的高性能。

?穩(wěn)壓：顯微鏡室供電電壓波動不應超過正常電壓的±10%，電壓不穩(wěn)的地區(qū)應加裝穩(wěn)壓電源，保護顯微鏡系統(tǒng)不受損害。 激光共焦掃描顯微鏡是點成像。

金相分析是人們通過金相顯微鏡來研究金屬和合金顯微組織大小、形態(tài)、分布、數(shù)量和性質(zhì)的一種方法。顯微組織是指如晶粒、包含物、夾雜物以及相變產(chǎn)物等特征組織。利用這種方法來考查如合金元素、成分變化及其與顯微組織變化的關(guān)系：冷熱加工過程對組織引入的變化規(guī)律；應用金相檢驗還可對產(chǎn)品進行質(zhì)量控制和產(chǎn)品檢驗以及失效分析等。應用領(lǐng)域：金相顯微鏡電子目鏡適用于任何標準的生物、體視、金相顯微鏡的拍攝，可以的應用于醫(yī)療衛(wèi)生機構(gòu)、實驗室、研究所、高等學校做生物學、病理學、細菌學觀察、教學和研究、臨床實驗和常規(guī)醫(yī)療檢驗；工廠、實驗室對材料的分析和鑒定。金相顯微鏡由于易于操作、視場較大、價格相對低廉,直到現(xiàn)在仍然是常規(guī)檢驗和研究工作中常使用的儀器。同一個物鏡不切換，得到兩個不同視野的成像。金相顯微鏡

四種類型的顯微鏡頭：單筒目鏡、雙筒目鏡、三目以及根據(jù)人體工程改造的。三豐顯微鏡供應商家

金相顯微鏡放大倍數(shù)通常在50-1000倍，照明系統(tǒng)有透射光和同軸反射光，而體視顯微鏡的放大倍數(shù)一般在5-100倍之間， 一般有透射光，斜射光和外部環(huán)形光源等照明方式。金相顯微鏡和體視顯微鏡相比放大倍數(shù)比較大，但是觀察范圍要小很多，兩種顯微鏡互補能夠滿足絕大多數(shù)應用需求。無限遠光學系統(tǒng)確保整體圖像質(zhì)量和系統(tǒng)拓展性；22mm大視野平場成像；穩(wěn)定的色溫和度白光LED照明；流線型的機身外觀和特殊的表面處理工藝，基于人體工程學設計，操作更加便捷舒適；落射照明附件配置簡易偏光附件，可實現(xiàn)偏光觀察；保留了明場觀察方法，同時可拓展暗場、專業(yè)偏光和熒光等觀察方法；三目觀察，配置數(shù)碼相機可對樣本進行拍攝和精細測量。三豐顯微鏡供應商家

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