手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍:手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。探針臺的正確配置選型。浙江低溫真空探針臺
經(jīng)過檢測,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以除掉,降低器材的制作本錢。半導(dǎo)體的測驗環(huán)節(jié),首要包含芯片規(guī)劃中的規(guī)劃驗證、晶圓制作中的晶圓測臉(CP測驗)和封裝完結(jié)后的成品測驗(FT測驗》。半導(dǎo)體測驗設(shè)備首要包含測機(jī)、探針臺和分選機(jī)。在一切的測驗環(huán)節(jié)中都會用到測驗機(jī),不同環(huán)節(jié)中測驗機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺配合使用探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的規(guī)劃驗證階段,首要作業(yè)是檢測芯片規(guī)劃的功能是否可以達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會對芯片樣品逐個查看,只要通過規(guī)劃驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測驗一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測臉代工廠進(jìn)行,首要用到的設(shè)備為測驗機(jī)和探針臺。非標(biāo)探針臺調(diào)試探針臺的探針的清洗。
探針臺主要被應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路以及封裝的測試,主要是保證產(chǎn)品的質(zhì)量,且縮短制造成本。按照不同功能,探針臺可被分為多種類型,如LCD探針臺、高/低溫探針臺、RF探針臺。受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,探針臺應(yīng)用需求持續(xù)攀升,行業(yè)發(fā)展前景較好。半導(dǎo)體檢測是半導(dǎo)體生產(chǎn)中關(guān)鍵一環(huán),在半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)中,探針臺占比約為16%。在全球中,受益于智能手機(jī)、人工智能等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體需求攀升,半導(dǎo)體測試設(shè)備市場規(guī)模也隨之增長,在2021年達(dá)到76億美元。探針臺作為重要設(shè)備,受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,市場需求持續(xù)攀升,市場規(guī)模持續(xù)增長。
探針臺如何工作?探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進(jìn)行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。全自動探針臺相比普通探針臺添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識別(自動對準(zhǔn))。
探針臺操作步驟:1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈(LED或光源機(jī));3.打開背光面板光源開關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率,使影像清晰;二.點針操作步驟:1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置,將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu),使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野**位置并通過調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;6.切換至高倍鏡頭,找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測完畢后,逆時針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起,針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動機(jī)構(gòu)時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座,取出背光面板光源和光源燈等電源.探針臺行業(yè)品牌排行榜!非標(biāo)探針臺調(diào)試
低溫探針臺集成系統(tǒng)。浙江低溫真空探針臺
探針臺應(yīng)用手動探針臺廣泛應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微?。{米級)的微電子器件(如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析。浙江低溫真空探針臺
上海波銘科學(xué)儀器有限公司正式組建于2013-06-03,將通過提供以拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。業(yè)務(wù)涵蓋了拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等諸多領(lǐng)域,尤其拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器中具有強(qiáng)勁優(yōu)勢,完成了一大批具特色和時代特征的儀器儀表項目;同時在設(shè)計原創(chuàng)、科技創(chuàng)新、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等方面推動行業(yè)發(fā)展。我們在發(fā)展業(yè)務(wù)的同時,進(jìn)一步推動了品牌價值完善。隨著業(yè)務(wù)能力的增長,以及品牌價值的提升,也逐漸形成儀器儀表綜合一體化能力。上海波銘科學(xué)儀器有限公司業(yè)務(wù)范圍涉及上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時也是愛特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報價合理,售后無憂,值得信賴.等多個環(huán)節(jié),在國內(nèi)儀器儀表行業(yè)擁有綜合優(yōu)勢。在拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等領(lǐng)域完成了眾多可靠項目。