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聚焦離子束(FIB)顯微鏡
隨著納米科技的發(fā)展,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的重要部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察,成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。
技術(shù)特征
1、比較高束流可以達(dá)到100nA,且加工性能優(yōu)異??梢詫?shí)現(xiàn)快速切割和納米加工。
2、最高分辨率小于3nm,可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工,并顯示優(yōu)異的FIB成像質(zhì)量。
3、電壓范圍在500V-30KV可調(diào),可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)拋光,降低樣品表面非晶層厚度。
4、離子源比較穩(wěn)定,使用壽命長(zhǎng)。行業(yè)內(nèi)**長(zhǎng)離子源壽命1500小時(shí)(3000uAh),72小時(shí)束流變化在5%以內(nèi)。5、與SEM鏡筒完美配合,可以實(shí)現(xiàn)FIB加工過(guò)程中可以利用SEM進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。 聚焦離子束(FIB)顯微鏡;南昌顯微鏡規(guī)格尺寸
共聚焦顯微鏡發(fā)展趨勢(shì)共聚焦顯微鏡在技術(shù)層面上為了獲得更好的觀察效果,著力于從提高分辨率、降低光毒性、提高掃描速度、厚樣品觀察等方面提升技術(shù)水平。目前來(lái)看Z有效,對(duì)共聚焦顯微鏡技術(shù)推動(dòng)Zda的是超高分辨率顯微術(shù),突破光學(xué)極限使研究者能夠獲得更精細(xì)的細(xì)胞結(jié)構(gòu),有利于研究者更深刻的認(rèn)識(shí)生命活動(dòng)。人們對(duì)微觀事物的認(rèn)知要求已不僅局限于二維圖像觀測(cè),同時(shí)需要對(duì)微小物體的三維結(jié)構(gòu)進(jìn)行了解和研究。普通顯微鏡原理為物面前后一定厚度內(nèi)飛所有斷層圖像的疊加,已無(wú)法達(dá)到應(yīng)用需求。光電流 顯微鏡品牌排行榜照明系統(tǒng)通常包括光源,聚光鏡及其他輔助透鏡、反射鏡。
激光共聚焦顯微鏡的機(jī)械運(yùn)動(dòng)更少,特別是在光譜成像中,機(jī)械運(yùn)動(dòng)更穩(wěn)定,可確保更快,間歇和令人信服的結(jié)果。通過(guò)將多個(gè)檢測(cè)器集成在一起,可以可靠地重現(xiàn)用戶的測(cè)量結(jié)果。并行光譜檢測(cè)允許在波長(zhǎng)模式下同時(shí)讀取更多信號(hào)。另外,還有一種特殊的采集方法,可以有效提高光譜分辨率。
激光共聚焦顯微鏡可以顯示清晰的細(xì)節(jié)和高對(duì)比度的圖像,而不管表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)分析或表面輪廓如何。提高靈敏度和減少背景噪聲是激光共聚焦顯微鏡應(yīng)用的先決條件。激光共聚焦顯微鏡具有出色的靈敏度,良好的降噪技術(shù)和激發(fā)激光技術(shù),可確保良好的輸出功率。
激光掃描共聚焦顯微鏡的另一個(gè)特點(diǎn)是它是一種掃描成像技術(shù),傳統(tǒng)的寬場(chǎng)照明技術(shù)是將整個(gè)樣品都照亮,因此可以圖像可以直接被肉眼或探測(cè)器捕捉,但是LSCM采用一束或多束聚焦光束穿過(guò)樣品掃描成像,這樣得到的圖像被稱為光學(xué)切片?,F(xiàn)代共聚焦顯微鏡的一種實(shí)際的工作方式是激光發(fā)出的激發(fā)光通過(guò)二向色鏡,通過(guò)一對(duì)振鏡在樣品x方向和y方向進(jìn)行掃描,樣品激發(fā)(或反射)的光通過(guò)針(zhen)孔進(jìn)入PMT檢測(cè)器被記錄,記錄下的掃描圖像通過(guò)計(jì)算機(jī)重構(gòu)出實(shí)際的樣品圖像。體視顯微鏡又可稱為立體顯微鏡或解剖顯微鏡;
顯微鏡透射照明的方式有兩種:(2)柯勒照明柯勒照明光學(xué)系統(tǒng)如圖2所示。光源經(jīng)聚光鏡前組成像在照明系統(tǒng)的視場(chǎng)光闌上;聚光鏡前組經(jīng)過(guò)聚光鏡后組成像于標(biāo)本處,同時(shí)也把照明系統(tǒng)視場(chǎng)光闌成像在無(wú)限遠(yuǎn)處,使之與遠(yuǎn)心物鏡的入射光瞳重合??吕照彰髦械那敖M聚光鏡稱為柯勒鏡,它得到了光源的均勻照明,經(jīng)過(guò)聚光鏡后組成像在標(biāo)本上。故標(biāo)本上得到均勻的照明,這是柯勒照明的重要特點(diǎn)。聚光鏡中的孔徑光闌緊貼聚光鏡前組,通過(guò)聚光鏡后組所成的像,即聚光鏡的出射光瞳也與顯微鏡的物平面(標(biāo)本)貼近,故光闌起到了限制顯微鏡視場(chǎng)的作用。柯勒照明聚光系統(tǒng)的出射光瞳和像方視場(chǎng)分別與顯微鏡的物方視場(chǎng)和入射光瞳重合,從而形成“視場(chǎng)對(duì)瞳、瞳對(duì)視場(chǎng)”的光管。芯片測(cè)試觀察用顯微鏡;重慶視頻顯微鏡
顯微鏡使用注意事項(xiàng);南昌顯微鏡規(guī)格尺寸
顯微鏡的觀察方式,你知道幾種?霍夫曼調(diào)制相差(HMC)利用斜射光照射到標(biāo)本產(chǎn)生折射、衍射,光線通過(guò)物鏡光密度梯度調(diào)節(jié)器產(chǎn)生不同陰影,從而使透明標(biāo)本表面產(chǎn)生明暗差異,增加觀察對(duì)比度?;舴蚵{(diào)制相差不會(huì)因在光路中使用雙折射材料而受到阻礙,因此該技術(shù)對(duì)于檢查由聚合材料制成的容器中的樣本更為有用。而它不利的一面是,HMC會(huì)產(chǎn)生許多光學(xué)偽像,使該方法用于在玻璃蓋玻片上進(jìn)行貼壁細(xì)胞成像時(shí)比相差或DIC效果差。當(dāng)斜射光照射到標(biāo)本產(chǎn)生折射、衍射,通過(guò)物鏡相襯板產(chǎn)生不同陰影,從而使透明標(biāo)本表面產(chǎn)生明暗差異,增加觀察對(duì)比度。南昌顯微鏡規(guī)格尺寸
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