低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能，用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進的密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機和專有的熱管理，可以經濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業(yè)標準。超穩(wěn)定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統(tǒng)有以下特點：1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環(huán)制冷機制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡單的系統(tǒng)操作、數據采集和分析。5、支持多載流子分析數據導出。探針臺由哪些部分組成？微波探針臺升級

探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速露件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓，電流、電陽以及電容電壓特性線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途.激光探針臺主要檢測內容:1、激光打標;2、表層修復線路(利用激光將兩層金屬線熔融連接);3、驅除短路點;4、激光斷線，5、干擾芯片測試;除了以幾項之外激光探針臺兼?zhèn)涑Ｒ?guī)探針臺功能:1.微小連接點信號引出2.失效分析失效確認3.FIB電路修改后電學特性確認4.晶圓可靠性驗證低溫真空探針臺三段式針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。

半導體產業(yè)快速發(fā)展，探針臺市場需求攀升，新思界產業(yè)分析人士表示，探針臺是半導體、晶圓、集成電路中重要的檢測設備，隨著全球半導體產業(yè)向中國轉移，我國探針臺市場需求持續(xù)攀升。當前受益于5G、人工智能等產業(yè)發(fā)展帶動，半導體芯片出貨量維持增長趨勢，則探針臺行業(yè)長期景氣。在生產方面，長期以來探針臺市場被日企壟斷，臺企在市場中具有一定影響力，而國內企業(yè)在全球中占比較小。但隨著國內探針臺生產技術不斷革新，國產化率提升，預計未來不久將實現(xiàn)國產替代。

自動探針臺是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產型全自動晶圓探針臺，通過使探針卡與晶圓Pad點之間精細接觸，實現(xiàn)完成晶圓WAT/CP測試，該設備操作簡單并具有良好的機械穩(wěn)定性，能為客戶提供一個具有成本優(yōu)勢且高產量的晶圓測試解決方案，滿足晶圓廠、封測廠、測試廠等不同客戶的測試需求。經過不斷的技術迭代更新，A系列全自動探針臺已擁有同步國外的先進技術：低噪聲、快速移動、高產能、采用缺口和晶圓ID同步識別，減少了晶圓的加載時間；低重心設計，支持高針數探針卡，探針臺怎么選合適的配置？

探針臺的分類探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要**少的培訓，易于配置環(huán)境和轉換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點，非常適合研發(fā)人員使用。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準）。負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。可以24小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。如何維護和保養(yǎng)高溫探針臺呢？低溫真空探針臺

OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。微波探針臺升級

手動探針臺是廣泛應用于半導體行業(yè)的綜合經濟型測試儀器，主要用于半導體芯片的電參數檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應大型電參數測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應用范圍：手動探針臺主要用于對生產及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數進行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。高溫無氧化測試：當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。微波探針臺升級

波銘科儀，2013-06-03正式啟動，成立了拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等幾大市場布局，應對行業(yè)變化，順應市場趨勢發(fā)展，在創(chuàng)新中尋求突破，進而提升愛特蒙特的市場競爭力，把握市場機遇，推動儀器儀表產業(yè)的進步。旗下愛特蒙特在儀器儀表行業(yè)擁有一定的地位，品牌價值持續(xù)增長，有望成為行業(yè)中的佼佼者。我們強化內部資源整合與業(yè)務協(xié)同，致力于拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等實現(xiàn)一體化，建立了成熟的拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器運營及風險管理體系，累積了豐富的儀器儀表行業(yè)管理經驗，擁有一大批專業(yè)人才。波銘科儀始終保持在儀器儀表領域優(yōu)先的前提下，不斷優(yōu)化業(yè)務結構。在拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等領域承攬了一大批高精尖項目，積極為更多儀器儀表企業(yè)提供服務。