探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺(tái)chuck具備升降功能，便于樣品和探針的快速分離。上海探針臺(tái)技術(shù)改造

探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。GaN 探針臺(tái)供應(yīng)極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的探針臺(tái)設(shè)備。

    探針臺(tái)怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型：1、比較大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？6、會(huì)測(cè)試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀?yuàn)A具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測(cè)到的電流的量級(jí)）。

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì)。

低溫探針臺(tái)是用來(lái)無(wú)損檢測(cè)樣品的電性能，用于半導(dǎo)體、微電子、固體物理、超導(dǎo)等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變?cè)诤艿偷恼婵蘸蜏囟认聦?duì)器件和電路的探測(cè)。內(nèi)置振動(dòng)隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進(jìn)的密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用，如石墨烯的研究，分子電子學(xué)等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專有的熱管理，可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振小化振動(dòng)符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。低溫探針臺(tái)集成系統(tǒng)有以下特點(diǎn)：1、在真空探針臺(tái)下進(jìn)行完整的霍爾效應(yīng)測(cè)試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應(yīng)測(cè)試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導(dǎo)出。探針臺(tái)搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測(cè)試。桌面探針臺(tái)產(chǎn)品介紹

半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。上海探針臺(tái)技術(shù)改造

很多人都不了解探針臺(tái)，因?yàn)楹苌俳佑|到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步驟我們還是需要了解的。下面，小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對(duì)大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2、運(yùn)用卡盤(pán)X軸、Y軸控制旋鈕挪動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)整明晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中間。4、待測(cè)點(diǎn)地位確認(rèn)好后,再調(diào)整探針座的地位,將探針臺(tái)探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的地位旁邊,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)舉措要小心且遲緩，以防舉措過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針行進(jìn)少許，再運(yùn)用Z軸旋鈕停止下針，剛開(kāi)始則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經(jīng)接觸。5、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以經(jīng)過(guò)銜接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)端測(cè)試。上海探針臺(tái)技術(shù)改造

上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家從事拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及售后的貿(mào)易型企業(yè)。公司坐落在望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室，成立于2013-06-03。公司通過(guò)創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念，以客戶滿意為重要標(biāo)準(zhǔn)。主要經(jīng)營(yíng)拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器等產(chǎn)品服務(wù)，現(xiàn)在公司擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富的研發(fā)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，對(duì)于產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)要求極為嚴(yán)格，完全按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)和生產(chǎn)。愛(ài)特蒙特為用戶提供真誠(chéng)、貼心的售前、售后服務(wù)，產(chǎn)品價(jià)格實(shí)惠。公司秉承為社會(huì)做貢獻(xiàn)、為用戶做服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念，致力向社會(huì)和用戶提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)。上海波銘科學(xué)儀器有限公司嚴(yán)格規(guī)范拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器產(chǎn)品管理流程，確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，分工明細(xì)，服務(wù)貼心，為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。