你了解低溫探針臺(tái)嗎？估計(jì)了解的人很少，因?yàn)樗饕糜诳蒲形覀兤綍r(shí)很少用到。但是，一些關(guān)于它的基礎(chǔ)知識(shí)還是需要了解一下的。下面小編就給大家介紹一下，希望能對(duì)大家有所幫助。低溫探針臺(tái)是用來(lái)無(wú)損檢測(cè)樣品的電性能，用于半導(dǎo)體、微電子、固體物理、超導(dǎo)等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變?cè)诤艿偷恼婵蘸蜏囟认聦?duì)器件和電路的探測(cè)。內(nèi)置振動(dòng)隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進(jìn)的密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用，如石墨烯的研究，分子電子學(xué)等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專(zhuān)有的熱管理，可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振小化振動(dòng)符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。低溫探針臺(tái)集成系統(tǒng)有以下特點(diǎn)：1、變溫范圍10k-400k，采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，不需要消耗制冷劑。2、包含8400軟件，可以做簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。3、在真空探針臺(tái)下進(jìn)行完整的霍爾效應(yīng)測(cè)試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應(yīng)測(cè)試。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導(dǎo)出。給大家普及一下探針臺(tái)是干什么用的。浙江直流探針臺(tái)

手動(dòng)探針臺(tái)基本配置（包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等），探針臺(tái)主體-可測(cè)試晶圓尺寸：4英寸weili-樣品臺(tái)行程：100mm*100mm-移動(dòng)分辨率：~：360度-低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺(tái)顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡，LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍，物鏡，總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座，XYZ移動(dòng)范圍：12mm-移動(dòng)分辨率2um-標(biāo)配4個(gè)，可裝6個(gè)-漏電設(shè)計(jì)，漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出，Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計(jì)電探針，針尖探針探針直徑標(biāo)配10um，1um尺寸。 PIV測(cè)試探針臺(tái)全自動(dòng)探針臺(tái)相比普通探針臺(tái)添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。

到手動(dòng)探針臺(tái)，它的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。它是陳本比較高的儀器，不光是要在使用時(shí)好好維護(hù)，不用時(shí)也需要好好保存。怎樣保存呢？1、儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專(zhuān)門(mén)的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。2、避免碰撞：在安裝，操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。3、停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)手動(dòng)探針臺(tái)壽命。4、手動(dòng)探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，比如具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。5、使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精是易燃物，使用是要注意。

很多人都不了解探針臺(tái)，因?yàn)楹苌俳佑|到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步驟我們還是需要了解的。下面，小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對(duì)大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2、運(yùn)用卡盤(pán)X軸、Y軸控制旋鈕挪動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)整明晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中間。4、待測(cè)點(diǎn)地位確認(rèn)好后,再調(diào)整探針座的地位,將探針臺(tái)探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的地位旁邊,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)舉措要小心且遲緩，以防舉措過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針行進(jìn)少許，再運(yùn)用Z軸旋鈕停止下針，剛開(kāi)始則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經(jīng)接觸。5、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以經(jīng)過(guò)銜接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)端測(cè)試。探針臺(tái)應(yīng)用需求持續(xù)攀升，行業(yè)發(fā)展前景較好。

無(wú)論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測(cè)試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測(cè)試和CP測(cè)試，探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被美、日、韓等國(guó)所占據(jù)。近年來(lái)在國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來(lái)國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門(mén)設(shè)計(jì)。武漢SiC探針臺(tái)

高低溫真空探針測(cè)試系統(tǒng)。浙江直流探針臺(tái)

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。浙江直流探針臺(tái)

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