聚焦離子束（FIB）顯微鏡

隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的重要部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用聚焦離子束對材料進行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割和故障分析等。

技術特征

1、比較高束流可以達到100nA,且加工性能優(yōu)異?？梢詫崿F(xiàn)快速切割和納米加工。

2、最高分辨率小于3nm，可以實現(xiàn)精細加工，并顯示優(yōu)異的FIB成像質量。

3、電壓范圍在500V-30KV可調，可以實現(xiàn)精細拋光，降低樣品表面非晶層厚度。

4、離子源比較穩(wěn)定，使用壽命長。行業(yè)內**長離子源壽命1500小時（3000uAh），72小時束流變化在5%以內。5、與SEM鏡筒完美配合，可以實現(xiàn)FIB加工過程中可以利用SEM進行實時觀察。 顯微鏡常見故障的排除；體式顯微鏡調試

共聚焦顯微鏡是由顯微鏡光學系統(tǒng)、激光光源、掃描器及檢測及處理系統(tǒng)4部分組成，采用相干性較好的激光作為光源，在傳統(tǒng)光學顯微鏡基礎上采用共軛聚焦原理和裝置，并利用計算機對圖象進行處理的一套觀察、分析和輸出系統(tǒng)。激光掃描束通過光柵針（zhen）孔形成點光源，經(jīng)過分光鏡反射至物鏡，聚焦在在標本上并進行掃描。樣品受到激發(fā)后，發(fā)出的熒光回到分光鏡聚集到探測針（zhen）孔，之后經(jīng)過光電倍增管轉化為電信號傳輸?shù)接嬎銠C上顯示為清晰的焦平面圖像。激發(fā)光通過光柵針（zhen）孔聚焦在樣品上，熒光通過物鏡聚焦在針（zhen）孔上，此過程中形成兩次聚焦，故被稱為共聚焦顯微鏡。

主要應用于：生物學領域、高分子化學領域、表面粗糙度領域。 山東顯微鏡升級掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)是比較常用的兩類掃描探針顯微鏡。

顯微鏡的觀察方法

明視場觀察：垂直照射測量物表面，適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。

暗視場觀察：通過對從工件發(fā)出的散射光進行觀察，可完成在明視場下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸，以及勝任低反射工件的觀察。

偏光觀察：觀察具有偏光特性的物質，適用于半導體材料、液晶、結晶、金屬組織、礦物等表面觀察。

微分干涉（DIC）觀察：利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對比度變化，可進行立體觀察。適用于觀察硅片的結晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。

金相學主要指借助光學(金相)顯微鏡和體視顯微鏡等對材料顯微組織、低倍組織和斷口組織等進行分析研究和表征的材料學科分支，既包含材料顯微組織的成像及其定性、定量表征，亦包含必要的樣品制備、準備和取樣方法。其主要反映和表征構成材料的相和組織組成物、晶粒(亦包括可能存在的亞晶)、非金屬夾雜物乃至某些晶體缺陷(例如位錯)的數(shù)量、形貌、大小、分布、取向、空間排布狀態(tài)等。其主要由光學系統(tǒng)、照明系統(tǒng)和機械系統(tǒng)三部分組成，其中由光源、反光鏡、物鏡組、目鏡和多組聚光鏡組組成光學系統(tǒng);底座上低壓燈泡(為提高光源可靠性現(xiàn)多用冷光源即LED燈)，反光鏡、孔徑光欄、視場光欄和聚光鏡組成照明系統(tǒng);試樣臺、物鏡轉換器、接目鏡、粗調和微調手輪、視場光欄和孔徑光欄構成機械系統(tǒng)。新型的金相顯微鏡還具備瞬時高清抓拍和圖像處理功能，金相顯微鏡跟一般顯微鏡成像的原理是大致相同。共聚焦顯微鏡為什么能比熒光顯微鏡拍的效果更好呢？

顯微鏡使用注意事項：

?顯微鏡樣本一定要保持干凈，如有蓋片樣本，一定要干凈干燥，以免樣本上的試劑污染物鏡。

?不要用手直接觸摸光學部件的表面（如物鏡，熒光濾塊，目鏡等）。

?手動顯微鏡換物鏡時，不要抓著物鏡轉，要轉動物鏡轉盤。?熒光光源金屬鹵化物燈使用時注意開關間隔少30分鐘。

?樣本用油鏡觀察后，如還需用空氣鏡觀察，要把樣本上的油擦干凈再觀察，以免樣本上的油污染空氣鏡。?油鏡觀察時，請使用與顯微鏡配套的專業(yè)鏡油，不要使用其他介質（香柏油等），使用完顯微鏡后，及時擦掉物鏡上的鏡油，比較好將其他物鏡也清潔一遍。清潔液以無水乙醇為主。

?調焦時，為避免鏡頭撞到樣本，先將物鏡調到離樣本近端，然后在鏡下向離物鏡遠端調焦到樣本清晰。?顯微鏡使用過程中，鏡體、燈箱及電源等位置應無遮擋或覆蓋，以免影響散熱從而損耗顯微鏡壽命。

?顯微鏡使用完后，等燈箱部分冷卻后，再蓋上防塵罩。

?顯微鏡包含很多光學部件，避免顯微鏡碰撞，以保護光學系統(tǒng)。

?顯微鏡屬精密儀器，如需搬動，拆修，請聯(lián)系蔡司專業(yè)人員。 視頻顯微鏡和金像顯微鏡。顯微鏡規(guī)格尺寸

顯微鏡的幾種觀察方法；體式顯微鏡調試

共聚焦顯微鏡掃描時用的是激光光源，激光的穿透力強，可對樣本進行一定深度的光學斷層，從而獲得高標準的連續(xù)光學切片，由此做Z軸光學切片后重組出3D效果就能立體地展示樣品里熒光的空間分布。配有高精度電動載物臺和圖像拼接軟件，能完美解決放大倍數(shù)和整體成像這一問題?？勺鰰r間序列拍攝，實時監(jiān)測熒光變化，可以把熒光變化的過程以動態(tài)的形式展示出來。

共聚焦的應用很廣，像離體細胞、組織切片、物理材料、模式生物等熒光樣本都可以用共聚焦進行拍攝，除了常規(guī)的熒光圖片拍攝進行定性定位外，還可以進行熒光的半定量分析、共定位分析、熒光漂白恢復（FRAP）、熒光共振能量轉換(FRET)等，但也要注意一下，常規(guī)405-647nm之間的激發(fā)波長都可以支持。 體式顯微鏡調試

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