聚焦離子束（FIB）顯微鏡

隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的重要部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的聚焦離子束（FIB）技術(shù)利用聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。

技術(shù)特征

1、比較高束流可以達(dá)到100nA,且加工性能優(yōu)異?？梢詫?shí)現(xiàn)快速切割和納米加工。

2、最高分辨率小于3nm，可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工，并顯示優(yōu)異的FIB成像質(zhì)量。

3、電壓范圍在500V-30KV可調(diào)，可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)拋光，降低樣品表面非晶層厚度。

4、離子源比較穩(wěn)定，使用壽命長(zhǎng)。行業(yè)內(nèi)**長(zhǎng)離子源壽命1500小時(shí)（3000uAh），72小時(shí)束流變化在5%以內(nèi)。5、與SEM鏡筒完美配合，可以實(shí)現(xiàn)FIB加工過(guò)程中可以利用SEM進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。 顯微鏡常見(jiàn)故障的排除；體式顯微鏡調(diào)試

共聚焦顯微鏡是由顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、激光光源、掃描器及檢測(cè)及處理系統(tǒng)4部分組成，采用相干性較好的激光作為光源，在傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡基礎(chǔ)上采用共軛聚焦原理和裝置，并利用計(jì)算機(jī)對(duì)圖象進(jìn)行處理的一套觀察、分析和輸出系統(tǒng)。激光掃描束通過(guò)光柵針（zhen）孔形成點(diǎn)光源，經(jīng)過(guò)分光鏡反射至物鏡，聚焦在在標(biāo)本上并進(jìn)行掃描。樣品受到激發(fā)后，發(fā)出的熒光回到分光鏡聚集到探測(cè)針（zhen）孔，之后經(jīng)過(guò)光電倍增管轉(zhuǎn)化為電信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)上顯示為清晰的焦平面圖像。激發(fā)光通過(guò)光柵針（zhen）孔聚焦在樣品上，熒光通過(guò)物鏡聚焦在針（zhen）孔上，此過(guò)程中形成兩次聚焦，故被稱為共聚焦顯微鏡。

主要應(yīng)用于：生物學(xué)領(lǐng)域、高分子化學(xué)領(lǐng)域、表面粗糙度領(lǐng)域。 山東顯微鏡升級(jí)掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)是比較常用的兩類掃描探針顯微鏡。

顯微鏡的觀察方法

明視場(chǎng)觀察：垂直照射測(cè)量物表面，適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。

暗視場(chǎng)觀察：通過(guò)對(duì)從工件發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察，可完成在明視場(chǎng)下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸，以及勝任低反射工件的觀察。

偏光觀察：觀察具有偏光特性的物質(zhì)，適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物等表面觀察。

微分干涉（DIC）觀察：利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束，形成明暗和對(duì)比度變化，可進(jìn)行立體觀察。適用于觀察硅片的結(jié)晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。

金相學(xué)主要指借助光學(xué)(金相)顯微鏡和體視顯微鏡等對(duì)材料顯微組織、低倍組織和斷口組織等進(jìn)行分析研究和表征的材料學(xué)科分支，既包含材料顯微組織的成像及其定性、定量表征，亦包含必要的樣品制備、準(zhǔn)備和取樣方法。其主要反映和表征構(gòu)成材料的相和組織組成物、晶粒(亦包括可能存在的亞晶)、非金屬夾雜物乃至某些晶體缺陷(例如位錯(cuò))的數(shù)量、形貌、大小、分布、取向、空間排布狀態(tài)等。其主要由光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)三部分組成，其中由光源、反光鏡、物鏡組、目鏡和多組聚光鏡組組成光學(xué)系統(tǒng);底座上低壓燈泡(為提高光源可靠性現(xiàn)多用冷光源即LED燈)，反光鏡、孔徑光欄、視場(chǎng)光欄和聚光鏡組成照明系統(tǒng);試樣臺(tái)、物鏡轉(zhuǎn)換器、接目鏡、粗調(diào)和微調(diào)手輪、視場(chǎng)光欄和孔徑光欄構(gòu)成機(jī)械系統(tǒng)。新型的金相顯微鏡還具備瞬時(shí)高清抓拍和圖像處理功能，金相顯微鏡跟一般顯微鏡成像的原理是大致相同。共聚焦顯微鏡為什么能比熒光顯微鏡拍的效果更好呢？

顯微鏡使用注意事項(xiàng)：

?顯微鏡樣本一定要保持干凈，如有蓋片樣本，一定要干凈干燥，以免樣本上的試劑污染物鏡。

?不要用手直接觸摸光學(xué)部件的表面（如物鏡，熒光濾塊，目鏡等）。

?手動(dòng)顯微鏡換物鏡時(shí)，不要抓著物鏡轉(zhuǎn)，要轉(zhuǎn)動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)。?熒光光源金屬鹵化物燈使用時(shí)注意開(kāi)關(guān)間隔少30分鐘。

?樣本用油鏡觀察后，如還需用空氣鏡觀察，要把樣本上的油擦干凈再觀察，以免樣本上的油污染空氣鏡。?油鏡觀察時(shí)，請(qǐng)使用與顯微鏡配套的專業(yè)鏡油，不要使用其他介質(zhì)（香柏油等），使用完顯微鏡后，及時(shí)擦掉物鏡上的鏡油，比較好將其他物鏡也清潔一遍。清潔液以無(wú)水乙醇為主。

?調(diào)焦時(shí)，為避免鏡頭撞到樣本，先將物鏡調(diào)到離樣本近端，然后在鏡下向離物鏡遠(yuǎn)端調(diào)焦到樣本清晰。?顯微鏡使用過(guò)程中，鏡體、燈箱及電源等位置應(yīng)無(wú)遮擋或覆蓋，以免影響散熱從而損耗顯微鏡壽命。

?顯微鏡使用完后，等燈箱部分冷卻后，再蓋上防塵罩。

?顯微鏡包含很多光學(xué)部件，避免顯微鏡碰撞，以保護(hù)光學(xué)系統(tǒng)。

?顯微鏡屬精密儀器，如需搬動(dòng)，拆修，請(qǐng)聯(lián)系蔡司專業(yè)人員。 視頻顯微鏡和金像顯微鏡。顯微鏡規(guī)格尺寸

顯微鏡的幾種觀察方法；體式顯微鏡調(diào)試

共聚焦顯微鏡掃描時(shí)用的是激光光源，激光的穿透力強(qiáng)，可對(duì)樣本進(jìn)行一定深度的光學(xué)斷層，從而獲得高標(biāo)準(zhǔn)的連續(xù)光學(xué)切片，由此做Z軸光學(xué)切片后重組出3D效果就能立體地展示樣品里熒光的空間分布。配有高精度電動(dòng)載物臺(tái)和圖像拼接軟件，能完美解決放大倍數(shù)和整體成像這一問(wèn)題。可做時(shí)間序列拍攝，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)熒光變化，可以把熒光變化的過(guò)程以動(dòng)態(tài)的形式展示出來(lái)。

共聚焦的應(yīng)用很廣，像離體細(xì)胞、組織切片、物理材料、模式生物等熒光樣本都可以用共聚焦進(jìn)行拍攝，除了常規(guī)的熒光圖片拍攝進(jìn)行定性定位外，還可以進(jìn)行熒光的半定量分析、共定位分析、熒光漂白恢復(fù)（FRAP）、熒光共振能量轉(zhuǎn)換(FRET)等，但也要注意一下，常規(guī)405-647nm之間的激發(fā)波長(zhǎng)都可以支持。 體式顯微鏡調(diào)試

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